Cleam Room 용어의 정리 2003-12-15 (조회수:3434)   .청정(clean) : 먼지와 오염이 없는 깨끗한 상태 2.청정도(Cleaness) : 공간의 분위기기중 일정량의 공기중에 포함한 먼지나 오염의 정도를 말하며 일반적으로 1ft³의 체적공기에 포함된 먼지의 수로 표시한다, 3.청정등급(Cleaness Class)청정실의 청정도를 구별하기 위해 규정한다. 4.오염(Contamination) : 공정, 제품의 기능, 신뢰성등에 결함을 일으키는 모든 것 5.먼지(Particle) : 청정실내에 존재하는 모든 먼지 6.청정실(Clean Room) : 먼지가 제거되고 관리, 유지되는 깨끗한 방. 7.방진복(Smock, Clean Room Garment) : 사람의 몸에서 발생되는 먼지가 청정실로 빠져 나가지 않도록 착용하는 의복. 8.수율(Yield) : 생산된 제품중 양품이 차지하는 비율 9.관리 청정도 : 청정실 사용자가 제품 또는 대상물의 오염제어 관점에서 규정한 청정실 가동중에 있어서의 관리를 위한 청정도 10.청정실 시공완료상태(As-Built Clean Room) : 청정실이 정상 운전되나 생산설비가 없고 작업자도 없는 상태 11.청정실 생산설비완료상태(At-Rest Clean Room) : 청정실 시설이 정상 운전되고 생산설비는 있으나 작업자가 없는 상태 12.청정실 조업상태(Operational Clean Room) : 청정실 시설이 정상 운전되고 생산설비가 가동되며 작업자도 있는 상태 13.청정도 모니터링(Cleaness Monitoring) : 청정실내 특정위치 또는 특정공간의 청정도를 항상 혹은 정기적으로 측정ㆍ평가하는 일 14.측정점 : 청정실의 성능을 평가하는데 있어서 필요한 측정을 행하는 청정실 내의 공간위치