³ª³ë±â¼úÀÇ ¹®Á¦Á¡ 2004-05-20 (Á¶È¸¼ö:10867)

 

¹°ÁúÀÌ ³ª³ë¹ÌÅÍ(nm=10¾ïºÐÀÇ 1m) ¼öÁØÀ¸·Î ÀÛ¾ÆÁö¸é °Å½Ã¼¼°è¿¡¼­´Â º¼ ¼ö ¾ø´Â ƯÀÌÇÑ ¹°¸® È­ÇÐÀû ¼ºÁúÀ» ³ªÅ¸³½´Ù. ±×·±µ¥ ¹°ÁúÀÌ ³ª³ë Å©±âÀÇ ÀÔÀÚ°¡ µÇ¸é µ¶¼ºÀÌ °­ÇØÁø´Ù´Â ¿¬±¸ °á°ú°¡ ³ª¿Í ³ª³ë±â¼úÀÇ ¹Ì·¡¸¦ ¾îµÓ°Ô ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Áö³­´Þ 23¡­27ÀÏ ´º¿Ã¸®¾ð½º¿¡¼­ ¿­¸° ¹Ì±¹È­ÇÐȸ¿¡¼­ °úÇÐÀÚµéÀº ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê°¡ µ¿¹°¿¡ ´ëÇØ µ¶¼ºÀ» º¸¿´´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. ¹Ì±¹Ç×°ø¿ìÁÖ±¹ Á¸½¼¿ìÁÖ¼¾ÅÍ¿Í Åػ罺´ë ¿¬±¸ÆÀÀº 0.1¡­0.5mgÀÇ Åº¼Ò³ª³ë´ººê¸¦ ¿ë¾× ÇüÅ·ΠÁãÀÇ Æó Á¶Á÷¿¡ ÁÖÀÔÇÏ°í 90ÀÏ µ¿¾È °üÂûÇÑ °á°ú ³ôÀº µ¶¼ºÀ» º¸¿´´Ù°í ¹àÇû´Ù. ³ª³ëÆ©ºê´Â ½Ã°£ÀÌ È带¼ö·Ï Æó ¼Ó¿¡¼­ ¼­·Î ¹¶ÃÆ°í, Æó Á¶Á÷À» ¼Õ»ó½ÃÄ×´Ù.

µàÆù»ç ¿¬±¸ÆÀµµ ºñ½ÁÇÑ ½ÇÇèÀ» ÇÑ °á°ú Æó¿¡¼­ ³ª³ëÆ©ºê°¡ ÀÀÁýÇϸ鼭 ±â°üÁö Æ©ºê¸¦ ¸·¾Æ¼­ Áã°¡ Áú½Ä»çÇß´Ù. µÎ ÆÀÀº Æó¿¡ ¿ë¾×À¸·Î ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê¸¦ ÁÖÀÔÇßÁö °ø±â·Î µéÀ̸¶½Ã´Â ½ÇÇèÀ» ÇÑ °ÍÀº ¾Æ´Ï¾î¼­ Á¤¸» µ¶¼ºÀÌ ½É°¢ÇÏ´Ù°í ´ÜÁ¤Çϱâ´Â À̸£´Ù.

ÇÏÁö¸¸ ¹Ì±¹ ·Îü½ºÅÍ´ë ÀÇ´ë ±ÏÅÍ ¿Àº£¸£µÇ½ºÅÍ ±³¼ö´Â ÀÔÀÚ°¡ ÀÛÀ»¼ö·Ï ÈíÀÔÇϸé Ä¡¸íÀûÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù. ±×´Â Æú¸®Å×Æ®¶óÇ÷ç¿À·Î¿¡Æ¿·»(PTFF)À̶õ ¹°Áú·Î ¸¸µç Áö¸§ 20nmÀÇ ³ª³ëÀÔÀÚ¸¦ Áã¿¡°Ô 15ºÐ µ¿¾È È£ÈíÇÏ°Ô ÇÑ °á°ú ´ëºÎºÐ 4½Ã°£ À̳»¿¡ Á×¾ú´Ù. ¹Ý¸é 130 nm Å©±â·Î ÀÔÀÚ¸¦ ¸¸µé¾î ÈíÀÔ½ÃÄ×À» ¶§¿¡´Â Áã°¡ Á×Áö ¾Ê¾Ò´Ù.

¹°ÁúÀÌ ÀÛÀ»¼ö·Ï ´õ À§ÇèÇÑ °øÇع°ÁúÀÌ µÈ´Ù´Â °ÍÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁø »ç½ÇÀÌ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î ±½Àº Èë¸ÕÁöº¸´Ù ¿£Áø¿¡¼­ ³ª¿À´Â ¹Ì¼¼ÇÑ ¸ÕÁö°¡ À§ÇùÀûÀÌ´Ù. ¼­¿ï´ë ¹é³²¿ø º¸°Ç´ëÇпøÀåÀº ¡°±½Àº ¸ÕÁö´Â ±âµµ³ª ÄÚÀÇ Á¡¸·¿¡¼­ °É·¯Á® ¹èÃâµÇÁö¸¸ ¹Ì¼¼¸ÕÁö´Â ÆóÆ÷ ±í¼÷ÀÌ µé¾î°¡ ¹ÚÇô¹ö¸®±â ¶§¹®¿¡ ÈξÀ ÇØ·Ó´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. °í¿Â ¿¬¼Ò ½Ã »ý¼ºµÇ´Â ¹Ì¼¼¸ÕÁö´Â »ê¾÷Çõ¸í ÀÌÀü¿¡´Â ¾ø¾ú´ø °øÇع°ÁúÀÌ´Ù.

¼®¿µµµ µ¢¾î¸®ÀÏ ¶§´Â ÀüÇô ¹®Á¦°¡ ¾ø´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¼®¿µÀ» ij´Â ±¤¿ø, ¼öÁ¤À» ¿¬¸¶ÇÏ´Â ÀÛ¾÷ÀÚ´Â ¼ûÀ» ½¬¸é¼­ ¼öÁ¤ÀÔÀÚ¸¦ µéÀ̸¶½Ã°Ô µÅ ÆóÁ¶Á÷ÀÌ Ä¡¸íÀûÀÎ »óó¸¦ ÀԴ´Ù. ÀÌ·± º´À» ±ÔÆóÁõÀ̶ó°í ÇÑ´Ù.

¿µ±¹ ¸®¹öÇ®´ëÀÇ µ¶¼ºÇÐÀÚÀÎ ºñºñ¾ð ÇÏ¿öµå ±³¼ö´Â ¡°³ª³ëÀÔÀÚ´Â ¹°Áú ÀÚüÀÇ µ¶¼ºº¸´Ù Å©±â°¡ ÀÛ¾ÆÁú¼ö·Ï Ç¥¸éÀûÀÌ »ó´ëÀûÀ¸·Î ³Ð¾îÁö¸é¼­ »ýüÁ¶Á÷¿¡ ´ëÇÑ ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ Áõ°¡ÇØ µ¶¼ºÀÌ »ý±â´Â °ÍÀ¸·Î º¸Àδ١±°í ¹àÇû´Ù. °Ô´Ù°¡ ³ª³ë ÀÔÀÚ´Â Æó»Ó ¾Æ´Ï¶ó ¼ÒÈ­±â°ü, ÇǺθ¦ ÅëÇØ ¼¼Æ÷¿Í ÁßÃ߽Űæ°è¿¡±îÁö ħÅõÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Ô ¹®Á¦´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ½ÅÁßÇÑ °ËÅä ¾øÀÌ ¹ú½á ¼±Å©¸²À̳ª È­ÀåÇ°ÀÇ ¿ø·á·Î ³ª³ëÀÔÀÚ°¡ ¾²ÀÌ°í ÀÖ´Ù´Â °Í.

¹Ì±¹ ¶óÀ̽º´ë ³ª³ë±â¼úȯ°æ»ý¹°¼¾ÅÍ ºñÅ° Äݺó ¼ÒÀåÀº ¡°ÀÚ¿¬°è¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â ¹«±â¹°ÁúÀº ³Ê¹« Ä¿¼­ ¼¼Æ÷³ª Á¶Á÷¿¡ ħÅõÇÏÁö ¸øÇÏÁö¸¸ ÀΰøÀÇ ³ª³ë ÀÔÀÚ´Â ¾îµðµç µé¾î¿Ã ¼ö ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ±×³à´Â 9ÀÏ ¹Ì ÇÏ¿ø°úÇÐÀ§¿øȸ°¡ ³ª³ë±â¼ú°ü·Ã¹ýÀ» ¸¶·ÃÇϱâ À§ÇØ ¼ÒÁýÇÑ È¸ÀÇ¿¡ Ãâ¼®ÇØ ¡°³ª³ëÀÔÀÚ°¡ ´õ ÆÛÁö±â Àü¿¡ ¾ÈÀü¼º¿¡ ´ëÇÑ Æò°¡¸¦ ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇÇÇظ¦ ÁÙÀÌ´Â ÃÖ¼±Ã¥ÀÌ´Ù¡±°í ÁÖÀåÇß´Ù. ±×³à´Â ¹Ì±¹ Á¤ºÎ°¡ ³ª³ë±â¼ú ¿¬±¸¿¡ 7¾ï´Þ·¯¸¦ ÅõÀÚÇÏÁö¸¸ ³ª³ëÀÔÀÚÀÇ È¯°æ¿µÇâÆò°¡¿¡´Â 50¸¸´Þ·¯¸¸ ¾²°í ÀÖ´Â °Íµµ ¹®Á¦¶ó°í ÁÖÀåÇß´Ù.

°úÇÐÀÚµéÀº Áö±Ý±îÁö ³ª¿Â ¿¬±¸°á°ú¸¸ °®°í ³ª³ëÀÔÀÚ¸¦ ±ÔÁ¦Çϱâ´Â ¾î·Æ´Ù°í º¸°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ij³ª´ÙÀÇ ¹Î°£´ÜüÀÎ ETC±×·ìÀº ¾ÈÀü¼ºÀÌ ÀÔÁõµÉ ¶§±îÁö Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î ³ª³ëÀÔÀÚÀÇ »ý»êÀ» ±ÝÁöÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í ÁÖÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ´Üü¿¡ µû¸£¸é µàÆù, ¹Ù½ºÇÁ, ·Î·¹¾Ë µî 140°³ ±â¾÷ÀÌ ³ª³ëÀÔÀÚ¸¦ »ý»êÇس»°í ÀÖÀ¸¸ç, ÁÖ±âÀ²Ç¥ÀÇ ¿ø¼Ò °¡¿îµ¥ 44°³°¡ ³ª³ëÀÔÀÚ ÇüÅ·ΠÆǸŵǰí ÀÖ´Ù.

±¹³»¿¡¼­´Â ¿ÃÇØ Á¤ºÎ°¡ 2496¾ï¿øÀ» ³ª³ë±â¼ú °³¹ß¿¡ ÅõÀÔÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ³ª³ë±â¼úÀÇ ºÎÀÛ¿ë¿¡ ´ëÇؼ­´Â ¿¬±¸°¡ Àü¹«ÇÑ »óÅ´Ù. Áö³­ÇØ ¸» °øÆ÷µÈ ³ª³ë±â¼ú°³¹ßÃËÁø¹ýÀº ³ª³ë±â¼ú¿¡ ´ëÇØ È¯°æ¿µÇâÆò°¡¸¦ Çϵµ·Ï ÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ¿ÃÇØ ÇϹݱ⿡ ÇÏ·Á´ø Æò°¡¸¦ ¹Ì·ï³õÀº »óÅ´Ù.


Ãâó : ½Å¹®