크린룸 시설 및 기기의 청소 2004-07-02 (조회수:8193)

 

제 6 장 크린룸 시설 및 기기의 청소
6-1. 청소용의복
(1) 크린룸시설을 청소하는 작업자 또는 전속 청소자는 다음과 같은 복장을 2-7에 표시된 순서에 따라 착용한다.
① 사무실 등의 비청정구역의 청소 통상외출용 슈즈 또는 가운, 슬리퍼 또는 실내화
② 갱의실 등 준청정실의 청소. 클라스 10,000 및 100,000의 경우.....통상의 가운 또는 크린룸용 가운과 실내화 그리고 그 위의 신발카바 및 모자착용. 클라스 100 및 1,000의 경우.....크린룸용 가운 및 카바올 크린룸용 실내화에 신발카바 또는 부스 모자 및 후드 착용
③ 크린룸-크린룸용 의복
6-2. 크린룸 시설의 청소순서
(1) 크린룸 시설의 청소는 작업종료후 실시하되 크린룸 운전상태에서 실시한다.
(2) 청소작업이 끝난후 크린룸이 규정의 청정도를 회복할때까지 운전한다.
6-3. 청소용 도구
(1) 크린룸 시설에서 사용되는 청소용도구는 천의 오염을 방지하기 위해 모든것을 그 청정도 레벨구역 전용으로 한다.
6-3-1. 진공청소기
(1) 진공청소기는 크린룸내의 공기류를 심하게 흐트러지게 하는 것은 않된다.
(2) 이동식 진공청소기는 배기중의 0.3배 이상의 입자를 99.97%이상 포집할 수 있는 HEPA FILTER가 내장된 습식건식 병용품이어야 한다.
(3) 집중 배관청소 시스템은 배기를 거의 크린룸 밖으로 배출시키는 방식이나 배제공기량이 과다해서 크린룸내의 압력을 과도히 저하시키는 것은 않된다.
(4) 진공청소에 사용하는 흡입용호스, 이동식 진공청소기의 회전형 바퀴는 발진성이 적은 것을 선정 할것.
6-3-2. 닦아내는 관계도구
(1) 발진성이 적은 크린룸용, 우레탄 등의 스폰지포나 우레탄등 스폰지가 적당하다.
(2) 닦아내는데 사용하는 유포로서 면류를 사용할 때는 오염물을 통과시키지 않는 폴리에치렌 또는 나이론포로 양면을 싸서 봉합하고 평평히 하기 위해 누벼야 한다.
(3) 청정수 기타 청소용의 액체를 위한 물통은 스텐레스제 또는 고급 프라스틱으로서 용량 10L 정도의 것이 적당하다.
(4) 높은 곳을 닦아내기 위한 것이 필요하며 알미늄제로서 다리를 고정시킬수 있는 의자를 준비할 것.
6-4. 청소용 액체
6-4-1. 물
(1) 보통의 수도물에는 고형미립자, 유기물 광물질 등을 함유하고 있기 때문에 그대로 크린룸 청소용수로 사용할 수 없다.
(2) 크라스 100 및 1,000의 크린룸의 청소용에는 직경 0.45um이하의 박막 휠타로 여과한 물을 사용할 것.
(3) 크라스 10,000 및 100,000의 크린룸 청소용은 직경 5um이하의 박막 휠타로서 여과한 물을 사용할 것.
6-4-2. 청소용수 용액
(1) 클라스 100 및 1,000의 크린룸 청소용수액은 6-3-2 (3)에 표시된 물통에 시판의 저잔류성 중성세제 30g에 대하여 수도를 1LIT를 배합하여 잘 흔들어 혼합한 후 직경 0.45um의 박막 휠타로 여과해 서 사용한다.
(2) 클라스 10,000 및 100,000의 크린룸 청소용구 용액은 6-3-2 (3)에 표시된 물통에 시판의 저잔류성 중성세제 30g에 대하여 수도를 1LIT를 배합하여 잘 흔들어 혼합한 후 직경 5 um이하의 박막 휠타로 여과해서 사용한다.
6-5. 닦아내는 방식
6-5-1. 닦아내는데 쓰는 용구
(1) 닦아내는데 쓰는 용구의 수세법의 일례를 표 6-1에 표시한다.
(2) 닦아내는데 쓰이는 우레탄등의 모푸해드, 스폰지, 난포, 바케스 등은 천의 오염을 방지하기 위해 그 청정도 클라스 구역 전용의 것을 사용할것.
(3) 닦아내는데 사용되는 용구는 사용중 수시 목측으로 검사해서 오손된 것은 준청정실용등으로 격하 사용하고 기 오손된 것은 폐각할 것.

- 닦아내는데 쓰는 용구의 수세법의 일례 -
(1)닦아 내는데 쓰는 용구-우레탄늄,스폰지,스폰지모푸
*수세빈도-1회 닦아낼 때 마다
*크린룸 클라스 100 및 1,000 크린룸-1회 닦아낼 때마다 6-4-1 (2)에 표시된 물로 수세한다.
*클라스 10,000 및 100,000-1회 닦아낼 때마다 6-4-1 (3)에 표시된 물로 수세한다.
(2)닦아 내는데 쓰는 용구-크린룸용 잡포
*수세빈도-수 시
*크린룸 클라스 100 및 1,000 크린룸-수시 적어도 수세 3회 에 1회는 6-4-1 (1)에 표시된 청소용수 용액 으로 씻는다. 6-4-1 (2)에 표시된 물로 행군다.
*클라스 10,000 및 100,000-수시 적어도 수세 5회 에 1회는 6-4-2 (2)에 표시된 청소용수 용액 으로 씻고 6-4-1 (3) 에 표시된 물로 행군다.
(3)잡포는 크라스 100 및 1,000의 크린룸에서는 사용치 않음.

6-5-2. 닦아내는 작업
(1) 닦아내는데 쓰는 용구는 닦아낼 때마다 잘 씻은 것을 사용한다.
(2) A-I 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 6-4-2 (1)에 표시된 청소용수 용액을 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦아낸 다음 즉시 별도의 닦아내는데 쓰는 용구를 6-4-1 (2)에 표시된 물을 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦는다. 필요하면 이를 반복한다.
(3) A-II 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 6-4-2 (2)에 표시된 청소용 수용액에 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦아낸 다음 즉시 별도의 닦아내는데 쓰는 용구를 6-4-1 (3)에 표시된 물을 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦아낸다. 필요에 따라 이 작업을 반복한다.
(4) B-I 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 6-4-1 (2)에 표시된 물에 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦아낸다. 필요에 따라 이 작업을 반복한다.
(5) B-II 닦아냄 : 닦아내는데 쓰는 용구를 6-4-1 (3)에 표시된 물에 적셔 잘 짠 다음 청소면을 닦아냄. 필요에 따라 이 작업을 반복한다.
(6) 바닥, 벽, 천정 등 넓은 청소면을 닦아 낼때는 적당히 수회에 걸쳐 닦아내는데 쓰는 용구를 교체하여 사용한다.
(7) 닦아내는데 쓰는 용구를 씻을때 사용하는 6-4-2의 청소용수 용액 및 6-4-1 (2) 및 (3) 에 표시된물은 용구를 씻은 후 매회 갈아 쓰는 것이 바람직하다. 비교적 깨끗한 경우라도 3회 사용하면 교체하도록 한다.
6-5-3. 집기 비품의 닦아냄
(1) 간단하게 이동 가능한 크린룸용 집기비품은 준청정실의 청정한 작업대로 옮겨 크린룸의 청소작업중 또는 작업후 준청정실에서 닦아내는 작업을 한다.
(2) 크린룸의 청소작업종료후 닦아내는 작업이 끝난 집기 및 비품은 소정의 위치에 배치한다.
(3) 집기 비품의 청소방법 및 청소 빈도의 일례(一例)는 표 6-2에 표시함.


- 집기비품의 청소방법 빈도의 일례 -
집기비품 청정방법 및 빈도
1)의자 상면- 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄 매월:A닦아냄
2)수세기 물받이면- 매주:A닦아냄 매월:A닦아냄
3)수세기 수도꼭지- 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄
4)드라이어 취출구내면- 수시:A닦아냄 매주:A닦아냄
5)신발크리너 표면 - 수시:A닦아냄
6)격납용 내면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄 매월:A닦아냄
7)흐름대 면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄 매월:A닦아냄
8)진공청소기 흡구 - 수시:A닦아냄
9)진공청소기 기타표면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄
10)물통 내면 - 수시:A닦아냄
11)물통 기타표면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄
12)운반상자 내면 - 수시:A닦아냄
13)운반상자 기타표면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄
14)오물통 내면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄 매월:A닦아냄 크라스100에 놓지않음
15)운반차 하대면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄 매월:A닦아냄
16)운반차(핸들포함) - 매주:B닦아냄
17)볼펜 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄
18)작업대 작업 장면 - 수시:B닦아냄 매주:A닦아냄 닦아낸후 직경 0.45㎛의 박막휠타를 여과시킨 이소포로 알콜을 적신다
19)작업대 기타 장면 - 수시:필요에 따라 A닦아냄 매주:B닦아냄 매월:A닦아냄
*주의
1.A닦아냄 :6-5-2에 표시된 A-I 또는 A-II 닦아냄
B닦아냄 :6-5-2에 표시된 B-I 또는 B-II 닦아냄
2.닦아내는 작업은 수시 또는 작업 종료 후에 행한다.
3.오물통 내의 것은 매일 버린다.

6-6. 실내의 청소
(1) 실내의 바닥, 벽창, 창유리, 천정의 청소 예를 표 6-3에 표시함

- 실내의 청소방법 및 빈도의 예 -
*실의 종류 및 위치 닦아내는 방법 및 빈도
1)신발크리너 주변의 바닥 - 매주:B닦아냄 매월:A닦아냄 진공청소:매2시간
2)비청정실 및 준청정실 바닥 - 매주:B닦아냄 매월:A닦아냄 진공청소:매일2회
3)비청정실 및 준청정실 창,유리 - 매주:B닦아냄 진공청소:매월
4)비청정실 및 준청정실 천정 - 진공청소:매월
5)크린룸 바닥 클라스100 - 매일:B닦아냄 매주:A닦아냄 진공청소:매월
6)크린룸 바닥 상기이외 - 매주:B닦아냄 매월:A닦아냄 진공청소:매월
7)크린룸 창,창유리 클라스100 - 매일:B닦아냄 매월:A닦아냄 진공청소:매월
8)크린룸 창,창유리 상기이외 - 매주:B닦아냄 진공청소:매주
9)크린룸 천정 클라스100 - 매월:B닦아냄 진공청소:매월
10)크린룸 천정 상기이외 - 진공청소:매2개월

6-7. 크린룸으로의 지입기기의 청정화
(1) 크린룸으로 지입되는 모든 기재 즉 제품, 기구, 설비, 재료등은 청정화하지 않으면 안된다.
(2) 청정화 방법은 오염물의 종류 청정화해야 할 물품의 형태, 구조, 재료, 요구되는 청정도 등에 의해 해당 크린룸의 전문가가 결정한다.
(3) 크린룸에 지입되는 설비 등 대형물품은 처음부터 일반 환경이 오염구역에서 진공청소기로 기초 청정화를 한뒤 최종의 청정화는 준청정실에 크린룸용 진공청소기로 닦아내거나 다른 방법으로 필요한 청정화를 행한다.
(4) 대형물품은 크린룸의 운전을 정지하고 있는 동안 지입한다.
(5) 크린룸에서 사용하는 모든 소형물품은 준청정실에서 작업자가 전문가의 지시에 따라 크린룸 지입전 계획된 시간에 닦아내고 초음파세정기 또는 기타 방법으로 청정 정화해서 청정화된 4-4-1에서 표시된 운반상자에 넣어서 지입한다.
(6) 크린룸내에서 당시 정밀한 청정화를 행할 필요가 있는 경우 크린룸 내에서 정밀 청정용의 설비를 한다. 이 설비에 대해서는 적절한 국소배기를 행 할것.
(7) 크린룸 시설에 지입하는 기재예비품은 최소한으로 한다.