ûÁ¤µµ 100 |
2003-12-15 |
(Á¶È¸¼ö:3348) |
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■ ûÁ¤µµ 100
Clean RoomÀÇ ±Ô°Ýµî±Þ´ÜÀ§·Î ¡°Class"¸¦ »ç¿ëÇϸç À̶§,ûÁ¤µµ 100À̶õ Class 100À» ÀǹÌÇÑ´Ù.
1.ºÎÀ¯ºÐÁø
:0.5§ÀÌ»óÀÇ ÀÔÀÚÀÇ ÃÖ´ë¼ö 100°³/ft3 (3.5°³/§¤)
2.¾Ð·Â
:0.05 in H2O (1.27mmH2O)ÀÌ»ó
3.ȯ±âȽ¼ö
1)Ãþ·ùÃþ - 27.5ȸ/h ÀÌ»ó
2)ºñÃþ·ùÃþ - 20ȸ/h ÀÌ»ó
4.¿Âµµ
1)ICR : 72¢µ(22.2¡É)ºÎ±Ù¿¡ »ç¿ëÀÚ°¡ ¹üÀ§¸¦ ±ÔÁ¤
2)BCR : ±ÇÀåÄ¡ 72¢µ(22.2¡É),Á¦¾î¹üÀ§ ¡¾ 0.25 ~ ¡¾ 5¢µ(¡¾ 0.14 ~ ¡¾ 2.8¡É)
5.½Àµµ
1)ICR : 40 ¡¾ 5%
2)BCR : 45 + 0%, - 5%
6.Á¶µµ
:1076 ~ 1615 LUX
7.¹Ì»ý¹° ÀÔÀÚ
1)ICR ÀÇ ¹Ì»ý¹°ÀÔÀÚÀÇ ÃÖ´ë¼ö 0.1°³/ft3 (0.0035°³/§¤)
2)BCR ÀÇ ¹Ì»ý¹°ÀÔÀÚÀÇ Æò±Õ¼ö 1200°³/ft2¤ýweek(12900°³/§³¤ýweek)
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