청정도 100 2003-12-15 (조회수:3257)

 

■ 청정도 100

Clean Room의 규격등급단위로 “Class"를 사용하며 이때,청정도 100이란 Class 100을 의미한다.

1.부유분진

:0.5㎛이상의 입자의 최대수 100개/ft3 (3.5개/ℓ)

2.압력

:0.05 in H2O (1.27mmH2O)이상

3.환기횟수

1)층류층 - 27.5회/h 이상

2)비층류층 - 20회/h 이상

4.온도

1)ICR : 72℉(22.2℃)부근에 사용자가 범위를 규정

2)BCR : 권장치 72℉(22.2℃),제어범위 ± 0.25 ~ ± 5℉(± 0.14 ~ ± 2.8℃)

5.습도

1)ICR : 40 ± 5%

2)BCR : 45 + 0%, - 5%

6.조도

:1076 ~ 1615 LUX

7.미생물 입자

1)ICR 의 미생물입자의 최대수 0.1개/ft3 (0.0035개/ℓ)

2)BCR 의 미생물입자의 평균수 1200개/ft2ㆍweek(12900개/㎡ㆍweek)