ûÁ¤µµ 100 2003-12-15 (Á¶È¸¼ö:3348)

 

■ ûÁ¤µµ 100

Clean RoomÀÇ ±Ô°Ýµî±Þ´ÜÀ§·Î ¡°Class"¸¦ »ç¿ëÇϸç À̶§,ûÁ¤µµ 100À̶õ Class 100À» ÀǹÌÇÑ´Ù.

1.ºÎÀ¯ºÐÁø

:0.5§­ÀÌ»óÀÇ ÀÔÀÚÀÇ ÃÖ´ë¼ö 100°³/ft3 (3.5°³/§¤)

2.¾Ð·Â

:0.05 in H2O (1.27mmH2O)ÀÌ»ó

3.ȯ±âȽ¼ö

1)Ãþ·ùÃþ - 27.5ȸ/h ÀÌ»ó

2)ºñÃþ·ùÃþ - 20ȸ/h ÀÌ»ó

4.¿Âµµ

1)ICR : 72¢µ(22.2¡É)ºÎ±Ù¿¡ »ç¿ëÀÚ°¡ ¹üÀ§¸¦ ±ÔÁ¤

2)BCR : ±ÇÀåÄ¡ 72¢µ(22.2¡É),Á¦¾î¹üÀ§ ¡¾ 0.25 ~ ¡¾ 5¢µ(¡¾ 0.14 ~ ¡¾ 2.8¡É)

5.½Àµµ

1)ICR : 40 ¡¾ 5%

2)BCR : 45 + 0%, - 5%

6.Á¶µµ

:1076 ~ 1615 LUX

7.¹Ì»ý¹° ÀÔÀÚ

1)ICR ÀÇ ¹Ì»ý¹°ÀÔÀÚÀÇ ÃÖ´ë¼ö 0.1°³/ft3 (0.0035°³/§¤)

2)BCR ÀÇ ¹Ì»ý¹°ÀÔÀÚÀÇ Æò±Õ¼ö 1200°³/ft2¤ýweek(12900°³/§³¤ýweek)